開(kāi)封微壓活塞式壓力計FPG8601,開(kāi)封微壓活塞式壓力計價(jià)格

開(kāi)封微壓活塞式壓力計-FPG8601-美國福祿克FLUKE

基準級微壓活塞壓力計，提供微壓溯源性
FPG8601是基準級微壓活塞壓力計，解決了活塞式壓力計在微小壓力范圍內以極小的不確定度提供長(cháng)期溯源性的需求。

優(yōu)異的測量不確定度
該系統在表壓和絕壓模式下覆蓋的量程均為0（絕壓為0.5 Pa）～15 kPa（2.2 psi）。測量不確定度為讀數的±30 ppm與一個(gè)非常小的門(mén)限誤差的組合，足夠小以能夠校準量程低達130 Pa (1 Torr，0.5 in. H2O)甚至13 Pa (100 mTorr，0.05 in. H2O)的各種微壓傳遞標準。 DHI有一份完整的不確定度分析報告（請參見(jiàn)DHI技術(shù)文章 2090TN05）說(shuō)明FPG8601的測量不確定度。該儀器的穩定度取決于碳化鎢活塞組和不銹鋼砝碼，液體壓力計檢定規程，所以FPG8601的校準間隔與傳統的活塞式壓力計相同，并沒(méi)有其它特殊的維護要求。除了卓越的計量性能外，FPG8601還實(shí)現了全自動(dòng)控制；合理的尺寸和重量，在典型的高端計量實(shí)驗室環(huán)境下均可正常工作，沒(méi)有額外要求。

支持表壓、絕壓和絕差壓測量

FPG8601支持三種不同的測量模式：

· 表壓模式：把FPG8601的下方壓力室和測試的“低”側連接在一起，并和環(huán)境大氣壓相同。

· 絕壓模式：FPG8601的下方壓力室被抽成真空，并用真空計測量殘留真空。這種模式用于校準密封絕壓的DUT。

· 絕差壓模式：把FPG8601的下方壓力室和測試的“低”測連接在一起并抽成真空。這種模式用于校準相對于真空的差壓被檢對象。

此外，數字式壓力計，FPG8601沒(méi)有特殊環(huán)境要求，可安裝在2m長(cháng)的高質(zhì)量實(shí)驗臺上。壓力控制器常常安裝在試驗臺下方。當需要使用絕壓功能時(shí)，浪壓力計算公式，需要考慮真空泵的位置。如果需要，可以隨系統提供定制的安裝臺。其工作環(huán)境要求為典型的高端計量實(shí)驗室環(huán)境。

工作原理
FPG 8601采用了活塞式壓力計原理：加到活塞缸有效面積上的壓力被轉換為成比例的力。然而，浪壓力計算表，壓力產(chǎn)生的力并不是與重力加速度引起的重量相平衡的，而是由活塞所在的力平衡壓力傳感器測得的。活塞缸套頂部和底部安裝了壓力室，可改變被用來(lái)定義壓力的參考壓力（對于表壓來(lái)說(shuō)是大氣壓，對于絕壓來(lái)說(shuō)是真空）。在常壓下利用高壓室和低壓室調零壓力傳感器，剔除活塞的重量以及其它非所測壓力的壓力因素，使測量壓力從零開(kāi)始。根據活塞缸的有效面積和壓力傳感器測得的凈壓力值即可計算出差壓值。

為了避免通過(guò)在汽缸中旋轉活塞來(lái)確定其中心的不穩定性和機械方面的復雜性，FPG8601活塞是通過(guò)缸體-活塞縫隙中獨立流通的潤滑氣壓來(lái)確定中心的。縫隙呈圓錐形，壓力計差阻式，收縮面對稱(chēng)朝向活塞末端。缸體－活塞縫隙為1～6 mm，潤滑壓力比參考壓力大40 kPa，保證流入到測量室的氣流非常小（低于總量的1 sccm）。活塞兩端的壓力通過(guò)一個(gè)萬(wàn)向節連接系統傳遞到壓力傳感器，該系統將活塞保持在其重心。連接系統的通路也用來(lái)提供缸體－活塞潤滑氣。壓力傳感器被封閉在一個(gè)密封室內，潤滑氣通過(guò)該密封室流通。壓力傳感器密封室的設計有利于保持恒溫，并且潤滑氣的相對濕度被保持在40～70 %之間，從而使壓力傳感器的性能達到最佳。

優(yōu)異的測量不確定度
該系統在表壓和絕壓模式下覆蓋的量程均為0（絕壓為0.5 Pa）～15 kPa（2.2 psi）。測量不確定度為讀數的±30 ppm與一個(gè)非常小的門(mén)限誤差的組合，活塞，足夠小以能夠校準量程低達130 Pa (1 Torr，0.5 in. H2O)甚至13 Pa (100 mTorr，0.05 in. H2O)的各種微壓傳遞標準。 DHI有一份完整的不確定度分析報告（請參見(jiàn)DHI技術(shù)文章 2090TN05）說(shuō)明FPG8601的測量不確定度。該儀器的穩定度取決于碳化鎢活塞組和不銹鋼砝碼，所以FPG8601的校準間隔與傳統的活塞式壓力計相同，并沒(méi)有其它特殊的維護要求。除了卓越的計量性能外，FPG8601還實(shí)現了全自動(dòng)控制；合理的尺寸和重量，在典型的高端計量實(shí)驗室環(huán)境下均可正常工作，手持式壓力計，沒(méi)有額外要求。

全自動(dòng)的力平衡控制
FPG8601壓力控制器通過(guò)調整限流閥的氣流進(jìn)行工作。限流閥的上游側被連接到上方的FPG壓力室，下游側被連接到下方的FPG8601的壓力室，并連接到大氣壓，或在絕壓工作模式下連接到獨立的真空源。

控制器中有幾個(gè)具有不同導電系數的節流閥，并自動(dòng)選擇與相應的壓力量程相匹配的一個(gè)。有2個(gè)質(zhì)量流量控制器（MFC），其中1個(gè)用于壓力粗調，另1個(gè)用于壓力精調，存儲式壓力計，MFC并聯(lián)用于調整反饋環(huán)路中的流量。根據壓力設置點(diǎn)和 FPG8601壓力測量值之差進(jìn)行控制。有一個(gè)兩級的壓力調節器，其第二級以節流閥的下游側為參考，它為質(zhì)量流量控制器提供了一個(gè)穩定的輸入壓力。FPG8601 包括一個(gè)基于Windows的系統控制器。系統控制器與FPG8601硬件及被測設備進(jìn)行通信。FPG Tools軟件監測和控制FPG8601的工作，并支持多種高級功能，包括全自動(dòng)工作、無(wú)值守測試程序并采集被測設備數據。所有的FPG8601和被測設備的數據均被記錄為逗號分隔的數據文件，可方便地下載至其它應用程序進(jìn)行分析。

以下為FPG Tools軟件的部分功能：

· 改變測量模式（表壓/絕壓）

· 壓力傳感器自動(dòng)調零，并自動(dòng)設置跨距

· 調整數據點(diǎn)平均時(shí)間

· 工作狀態(tài)發(fā)生過(guò)大變化時(shí)自動(dòng)報警

· 在低絕壓模式下進(jìn)行熱蒸發(fā)修正

· 被測設備設置

· 測試程序定義和儲存

· 全自動(dòng)測試

· 實(shí)時(shí)繪制測試結果

技術(shù)資料
電源要求	FPG8601：85～264VAC，50/60 Hz，最大60 VA VLPC：85～264 VAC，50/60 Hz，最大70 VA
正常工作溫度范圍	20～26℃
環(huán)境溫度穩定性	0.1℃/每分鐘，四川活塞式壓力計，最大變化率
重量	FPG8601平臺：30 kg (66 lb) FPG8601終端：2 kg (4.4 lb)
VLPC壓力控制器	41 kg (90.4 lb)
尺寸	FPG8601平臺：53 cm高×36 cm寬×35 cm深 FPG8601終端：12 cm高×15 cm寬×20 cm深 VLPC壓力控制器：31 cm高×51 cm寬×53 cm深
系統控制器	運行FPG Tools，Windows操作系統，渦輪增壓壓力計，RS232和IEEE-488接口，用于采集FPG和DUT的數據
全壓力量程	0～15 kPa表壓、絕壓、絕差壓
測試介質(zhì)	氮氣或空氣
模式轉換時(shí)間	絕壓至表壓模式：30分鐘表壓至絕壓模式：1小時(shí)
振動(dòng)	與傳統的活塞式壓力計相同，真空泵必須用軟管連接
壓力供給	活塞－套筒潤滑氣(FPG8601)：700～800 kPa，清潔、干燥的氮氣或空氣
	FPG參考真空（絕壓模式）：渦輪泵：典型值為378 m3/h，極限壓力為8.10-6 Pa
	回轉式葉片泵：16.5 m3/h，極限壓力為0.2 Pa
	VLPC壓力源：700～800 kPa，清潔、干燥的氮氣
	VLPC真空：10 m3/h @ 0.5 Pa
	驅動(dòng)氣（FPG8601和VLPC）：400～700 kPa壓縮空氣
壓力連接	測試高（FPG8601）：KF16 測試低（FPG8601）：KF16 真空參考（FPG8601）：KF25 真空（FPG8601）：1/8 in. NPT F 驅動(dòng)/潤滑（FPG8601）：1/8 in. NPT F 壓力源（VLPC）：S1/8 in. NPT F 驅動(dòng)（VLPC）：1/8 in. NPT F 真空（VLPC）：KF25

壓力測量
全量程	0～15 kPa表壓、絕壓、絕差壓
溫度影響	監測儀器溫度，并在溫度變化的速率和大小對性能影響明顯時(shí)，發(fā)出報警。
分辨力	標準：0.010 Pa 高分辨力選件：0.001 Pa
典型壓力測量不確定度	標準：表壓、絕差壓模式：± (0.020 Pa + 30 ppm讀數) 絕壓模式：± (0.025 Pa + 30 ppm讀數)
典型壓力測量不確定度	高分辨力選件：表壓、絕差壓模式：± (0.005 Pa + 30 ppm讀數) 絕壓模式：± (0.008 Pa + 30 ppm讀數)
絕對模式下的典型殘留真空	用渦輪分子泵：0.04～0.1 Pa 用回轉式葉片泵：0.3 Pa～0.4 Pa

壓力控制
控制范圍（Pa）	表壓模式：5個(gè)交疊的控制范圍最小壓力：0 最小受控壓力：0.1 Pa
控制范圍（Pa）	絕壓模式：5個(gè)交疊的控制范圍最小壓力：0.4～1 Pa 最小受控壓力：2 Pa
控制精度	標準：表壓模式：± (0.020 Pa + 100 ppm量程) 絕壓模式：± (0.020 Pa + 30 ppm量程) 高分辨力選件：表壓模式：± (0.005 Pa + 60 ppm量程) 絕壓模式：± (0.020 Pa + 30 ppm量程) 注：控制精度為最差情況。絕壓模式在較低范圍時(shí)的常數更小。
標稱(chēng)測試容積	表壓模式：最高20 cc/側（高和低）絕壓模式：最高500 cc/側（高和低）壓力穩定時(shí)間：1～2分鐘，取決于測試容積

活塞模塊
標稱(chēng)尺寸	直徑：35 mm 面積：10 cm2
活塞材料	碳化鎢
套筒材料	碳化鎢
安裝系統	非旋轉，獨立自定心，中央供氣，潤滑壓力
活塞－套筒間隙	對稱(chēng)圓錐形間隙，雙錐形，在中央潤滑點(diǎn)為6微米，在活塞末端為1微米
潤滑氣體質(zhì)量	清潔、干燥的氨氣或空氣，內部調整為40～70 %相對濕度
潤滑氣體壓力	表壓模式：40 kPa表壓絕壓模式：40 kPa絕壓潤滑氣流量：< 1 sccm至高和低壓力室

輔助測量
活塞－缸體溫度(℃)	范圍：0～40 分辨率：0.01 不確定度：± 0.1
殘留真空(Pa)	范圍：0～13 分辨率：0.001 不確定度：± (0.5 %讀數+ 5 MPa)

監控測量
潤滑氣體溫度(℃)	范圍：0～40 分辨率：0.1 不確定度：± 0.2
潤滑氣壓力(kPa)	范圍：0～200絕壓分辨率：0.001 不確定度：± 0.1
潤滑氣濕度(%RH)	范圍：5～95 分辨率：1 不確定度：± 10

型號	描述
FPG8601-SYS	具有標準分辨率的微壓塞式壓力計系統

通用配件:

配件	描述
FPG8601-MODE-V-REF	真空參考模式
MS-8601-2	2.0kg砝碼套件，帶掛鉤
BENCH-8601-ABS	FPG8601工作臺
FPG8601-RES-HIGH	高分辨率(1 mPa)


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