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技術文章
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    半導體工廠氣體檢測儀
    型 號:XP-703D
    品 牌:日本新宇宙
    技術指標:檢測氣體:半導體材料氣體(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等) 
    武威半導體工廠氣體檢測儀-XP-703D-日本新宇宙
    功能描述
    檢測氣體: 半導體材料氣體(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等)
    檢測原理: 熱線型半導體式
    采樣方式: 自動吸引式
    可檢測濃度:
    0.2
    0.3
    硼乙烷 0.1
    硅烷 0.5
    氫氣 1.0
    檢測表示: 蜂鳴器斷續(xù)鳴響及指示燈閃爍
    應答速度: 10秒以內(nèi)
    ,
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